CAJ | 학술논문

万方数据

数据采集与处理 수거채집여처리
JOURNAL OF DATA ACQUISITION & PROCESSING
2001年 z1期 108-111 ,共4页

王建%肖玲%梁竹关%周开邻%胡问国%李亚文%李萍%徐晓华%Рау З И

왕건%초령%량죽관%주개린%호문국%리아문%리평%서효화%Рау З И

扫描电子显微镜%透过表面绝缘层%非接触无损%显微内窥透视检测法%半导体和集成电路%微结构和缺陷%锁相放大器掃描電子顯微鏡%透過錶麵絕緣層%非接觸無損%顯微內窺透視檢測法%半導體和集成電路%微結構和缺陷%鎖相放大器
소묘전자현미경%투과표면절연층%비접촉무손%현미내규투시검측법%반도체화집성전로%미결구화결함%쇄상방대기

提出一种新的在扫描电子显微镜中非接触无损透过半导体和集成电路表面绝缘层显微内窥透视检测掩盖在其绝缘层下面的半导体的缺陷和集成电路微结构的检测法(简称透表法)和用此法所观测到的图像。同时，本文还介绍了在此新检测法中Lock-in的应用。
제출일충신적재소묘전자현미경중비접촉무손투과반도체화집성전로표면절연층현미내규투시검측엄개재기절연층하면적반도체적결함화집성전로미결구적검측법(간칭투표법)화용차법소관측도적도상。동시，본문환개소료재차신검측법중Lock-in적응용。