碲镉汞物理与化学钝化界面的AES研究
제력홍물리여화학둔화계면적AES연구
PHYSICALLY AND CHEMICALLY PASSIVATED INTERFACE OF HgCdTe STUDIED BY AES
  • 万方数据
    红外与毫米波学报 홍외여호미파학보
    JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
    2002年 z1期 23-27 ,共5页

    史伟民%李冬梅%钱永彪%居建华%王林军%闵嘉华%桑文斌%吴汶海

    사위민%리동매%전영표%거건화%왕림군%민가화%상문빈%오문해

    HgCdTe%表面钝化%界面 HgCdTe%錶麵鈍化%界麵
    HgCdTe%표면둔화%계면
    采用化学和物理方法分别在Hg1-xCdxTe (MCT)表面制备了阳极氟化膜、CdTe、ZnS和类金刚石薄膜(DLC)钝化层.采用俄歇光谱(AES)和红外透射光谱(IR)研究了这些钝化层与MCT之间的界面特性.结果表明:与阳极氟化膜和CdTe膜相比,ZnS和DLC膜能较好地抑制MCT组元的外扩散.ZnS层中的Zn和S 易于向MCT内部扩散,而且发现在ZnS层中有O的存在,这可能是由于ZnS易与空气中水份发生作用所致.而DLC中C向MCT内表面扩散较少.MCT表面沉积DLC薄膜后红外透过率较ZnS有明显的提高.
    채용화학화물리방법분별재Hg1-xCdxTe (MCT)표면제비료양겁불화막、CdTe、ZnS화류금강석박막(DLC)둔화층.채용아헐광보(AES)화홍외투사광보(IR)연구료저사둔화층여MCT지간적계면특성.결과표명:여양겁불화막화CdTe막상비,ZnS화DLC막능교호지억제MCT조원적외확산.ZnS층중적Zn화S 역우향MCT내부확산,이차발현재ZnS층중유O적존재,저가능시유우ZnS역여공기중수빈발생작용소치.이DLC중C향MCT내표면확산교소.MCT표면침적DLC박막후홍외투과솔교ZnS유명현적제고.
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