材料科学与工程学报
材料科學與工程學報
재료과학여공정학보
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2003年
2期
224-227
,共4页
Sol-Gel%ZnO%Al+离子掺杂%透明导电薄膜
Sol-Gel%ZnO%Al+離子摻雜%透明導電薄膜
Sol-Gel%ZnO%Al+리자참잡%투명도전박막
采用Sol-Gel工艺在普通载玻片上制备出C轴择优取向性、高可见光透过率以及高电导率的Al3+离子掺杂的ZnO透明导电薄膜.利用SEM、XRD等分析手段对薄膜进行了表征.研究结果表明:所制备的薄膜为纤锌矿型结构,表面平整、致密.通过标准四探针法及UVS透射光谱详细研究了Al3+离子掺杂的ZnO薄膜的电学与光学性能.实验发现,当Al3+离子掺杂浓度为0.8%时,前处理温度为400℃,退火温度为550℃,真空退火温度为550℃时,薄膜具有较好的导电性,电阻率为3.03× 10-3Ω@cm,其在可见光区的透过率超过80%.
採用Sol-Gel工藝在普通載玻片上製備齣C軸擇優取嚮性、高可見光透過率以及高電導率的Al3+離子摻雜的ZnO透明導電薄膜.利用SEM、XRD等分析手段對薄膜進行瞭錶徵.研究結果錶明:所製備的薄膜為纖鋅礦型結構,錶麵平整、緻密.通過標準四探針法及UVS透射光譜詳細研究瞭Al3+離子摻雜的ZnO薄膜的電學與光學性能.實驗髮現,噹Al3+離子摻雜濃度為0.8%時,前處理溫度為400℃,退火溫度為550℃,真空退火溫度為550℃時,薄膜具有較好的導電性,電阻率為3.03× 10-3Ω@cm,其在可見光區的透過率超過80%.
채용Sol-Gel공예재보통재파편상제비출C축택우취향성、고가견광투과솔이급고전도솔적Al3+리자참잡적ZnO투명도전박막.이용SEM、XRD등분석수단대박막진행료표정.연구결과표명:소제비적박막위섬자광형결구,표면평정、치밀.통과표준사탐침법급UVS투사광보상세연구료Al3+리자참잡적ZnO박막적전학여광학성능.실험발현,당Al3+리자참잡농도위0.8%시,전처리온도위400℃,퇴화온도위550℃,진공퇴화온도위550℃시,박막구유교호적도전성,전조솔위3.03× 10-3Ω@cm,기재가견광구적투과솔초과80%.
