功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2004年
z1期
386-389
,共4页
吴惠桢%梁军%劳燕锋%陈乃波%徐天宁%邱东江
吳惠楨%樑軍%勞燕鋒%陳迺波%徐天寧%邱東江
오혜정%량군%로연봉%진내파%서천저%구동강
立方相MgxZn1-xO薄膜%微结构%光学特性
立方相MgxZn1-xO薄膜%微結構%光學特性
립방상MgxZn1-xO박막%미결구%광학특성
介绍了在Si衬底和石英玻璃衬底上生长的立方相MgxZn1-xO(0.55≤x≤1)晶体薄膜的物理特性,AFM和XRD等微结构特性表征显示了良好的表面形貌和高度的(111)取向生长特性.采用Manifacier方法,根据透射光谱中的干涉峰,计算得到立方相MgxZn1-xO薄膜的折射率.与已报道的六方相MgxZn1-xO(0≤x≤0.5)薄膜的折射率相类似,在400～800nm的可见光区域,不同Mg含量的立方相MgxZn1-xO薄膜,其折射率随入射波长的色散关系遵循一阶Sellmeier方程.对给定400nm的入射光波长,当薄膜中的Mg含量由55%增至100%时,其折射率由1.89衰减至1.73.
介紹瞭在Si襯底和石英玻璃襯底上生長的立方相MgxZn1-xO(0.55≤x≤1)晶體薄膜的物理特性,AFM和XRD等微結構特性錶徵顯示瞭良好的錶麵形貌和高度的(111)取嚮生長特性.採用Manifacier方法,根據透射光譜中的榦涉峰,計算得到立方相MgxZn1-xO薄膜的摺射率.與已報道的六方相MgxZn1-xO(0≤x≤0.5)薄膜的摺射率相類似,在400～800nm的可見光區域,不同Mg含量的立方相MgxZn1-xO薄膜,其摺射率隨入射波長的色散關繫遵循一階Sellmeier方程.對給定400nm的入射光波長,噹薄膜中的Mg含量由55%增至100%時,其摺射率由1.89衰減至1.73.
개소료재Si츤저화석영파리츤저상생장적립방상MgxZn1-xO(0.55≤x≤1)정체박막적물리특성,AFM화XRD등미결구특성표정현시료량호적표면형모화고도적(111)취향생장특성.채용Manifacier방법,근거투사광보중적간섭봉,계산득도립방상MgxZn1-xO박막적절사솔.여이보도적륙방상MgxZn1-xO(0≤x≤0.5)박막적절사솔상유사,재400～800nm적가견광구역,불동Mg함량적립방상MgxZn1-xO박막,기절사솔수입사파장적색산관계준순일계Sellmeier방정.대급정400nm적입사광파장,당박막중적Mg함량유55%증지100%시,기절사솔유1.89쇠감지1.73.
