仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2006年
z1期
304-306
,共3页
力敏传感器%专用设备%MEMS
力敏傳感器%專用設備%MEMS
력민전감기%전용설비%MEMS
"力敏传感器专用工装设备"研究是国家关于"传感器产业化技术"研究的重大项目之一,是研制、开发和生产高性能传感器的技术保障.其工艺水平的高低直接决定传感器产品的性能和质量.本文从攻关解决的关键技术、创新点、技术水平及对我国传感器产业技术进步的影响、知识产权等角度介绍力敏传感器科研生产所必需的几台关键设备的攻关成果及所取得的技术水平和主要成绩.
"力敏傳感器專用工裝設備"研究是國傢關于"傳感器產業化技術"研究的重大項目之一,是研製、開髮和生產高性能傳感器的技術保障.其工藝水平的高低直接決定傳感器產品的性能和質量.本文從攻關解決的關鍵技術、創新點、技術水平及對我國傳感器產業技術進步的影響、知識產權等角度介紹力敏傳感器科研生產所必需的幾檯關鍵設備的攻關成果及所取得的技術水平和主要成績.
"력민전감기전용공장설비"연구시국가관우"전감기산업화기술"연구적중대항목지일,시연제、개발화생산고성능전감기적기술보장.기공예수평적고저직접결정전감기산품적성능화질량.본문종공관해결적관건기술、창신점、기술수평급대아국전감기산업기술진보적영향、지식산권등각도개소력민전감기과연생산소필수적궤태관건설비적공관성과급소취득적기술수평화주요성적.
