中国表面工程
中國錶麵工程
중국표면공정
CHINA SURFACE ENGINEERING
2012年
3期
20-27
,共8页
余志明%张益豪%魏秋平%刘丹瑛%孟令聪
餘誌明%張益豪%魏鞦平%劉丹瑛%孟令聰
여지명%장익호%위추평%류단영%맹령총
金刚石%过渡层%梯度降温%温度%热丝化学气相沉积
金剛石%過渡層%梯度降溫%溫度%熱絲化學氣相沉積
금강석%과도층%제도강온%온도%열사화학기상침적
以H2和CH4作为反应气体,采用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在钛合金(Ti6Al4V)平板基体上制备金刚石薄膜,利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、激光拉曼光谱(Raman)和洛氏硬度仪分析薄膜的表面形貔、结构、成分和附着性能,研究了高温形核-低温生长的梯度降温法对原始钛合金和反应磁控溅射TiC过渡层的钛合金表面沉积金刚石薄膜的影响.结果表明:原始基体区和TiC过渡层区沉积的金刚石薄膜平均尺寸分别为0.77 μm和0.75 μm,薄膜内应力分别为-5.85 GPa和-4.14 GPa,TiC层的引入可以有效提高金刚石的形核密度和晶粒尺寸的均匀性,并减少薄膜残余应力；高温形核-低温生长的梯度降温法可以有效提高金刚石的形核密度和质量,并提高原始基体上沉积金刚石薄膜的附着性能.
以H2和CH4作為反應氣體,採用熱絲化學氣相沉積法(HFCVD)在鈦閤金(Ti6Al4V)平闆基體上製備金剛石薄膜,利用掃描電鏡(SEM)、X射線衍射儀(XRD)、激光拉曼光譜(Raman)和洛氏硬度儀分析薄膜的錶麵形貔、結構、成分和附著性能,研究瞭高溫形覈-低溫生長的梯度降溫法對原始鈦閤金和反應磁控濺射TiC過渡層的鈦閤金錶麵沉積金剛石薄膜的影響.結果錶明:原始基體區和TiC過渡層區沉積的金剛石薄膜平均呎吋分彆為0.77 μm和0.75 μm,薄膜內應力分彆為-5.85 GPa和-4.14 GPa,TiC層的引入可以有效提高金剛石的形覈密度和晶粒呎吋的均勻性,併減少薄膜殘餘應力；高溫形覈-低溫生長的梯度降溫法可以有效提高金剛石的形覈密度和質量,併提高原始基體上沉積金剛石薄膜的附著性能.
이H2화CH4작위반응기체,채용열사화학기상침적법(HFCVD)재태합금(Ti6Al4V)평판기체상제비금강석박막,이용소묘전경(SEM)、X사선연사의(XRD)、격광랍만광보(Raman)화락씨경도의분석박막적표면형비、결구、성분화부착성능,연구료고온형핵-저온생장적제도강온법대원시태합금화반응자공천사TiC과도층적태합금표면침적금강석박막적영향.결과표명:원시기체구화TiC과도층구침적적금강석박막평균척촌분별위0.77 μm화0.75 μm,박막내응력분별위-5.85 GPa화-4.14 GPa,TiC층적인입가이유효제고금강석적형핵밀도화정립척촌적균균성,병감소박막잔여응력；고온형핵-저온생장적제도강온법가이유효제고금강석적형핵밀도화질량,병제고원시기체상침적금강석박막적부착성능.
