材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2012年
2期
107-111
,共5页
范真%刘翊%丁建宁%程广贵%陈修祥
範真%劉翊%丁建寧%程廣貴%陳脩祥
범진%류익%정건저%정엄귀%진수상
Si-DLC膜%接触尺度%摩擦机理%接触模型
Si-DLC膜%接觸呎度%摩抆機理%接觸模型
Si-DLC막%접촉척도%마찰궤리%접촉모형
采用AFM尖头探针、球头探针和平头探针对Si-DLC膜进行摩擦实验,研究了薄膜的微观摩擦力学性能,探讨了不同接触尺度下薄膜表面粘附力及摩擦产生的机理.建立了不同探针与薄膜表面粗糙峰的接触模型,推导了表面粘附力与接触面积的关系表达式,表明在微观接触中,接触面积对粘附力起着主导作用.尖头探针与薄膜表面的微观摩擦系数取决于表面粗糙峰的斜率,与粗糙峰的高度相关不大；球头探针与薄膜表面的摩擦力主要取决于单位面积接触粗糙峰密度；平头探针与薄膜表面的摩擦力主要取决于外加载荷,表面形貌的微观尺寸效应可忽略.
採用AFM尖頭探針、毬頭探針和平頭探針對Si-DLC膜進行摩抆實驗,研究瞭薄膜的微觀摩抆力學性能,探討瞭不同接觸呎度下薄膜錶麵粘附力及摩抆產生的機理.建立瞭不同探針與薄膜錶麵粗糙峰的接觸模型,推導瞭錶麵粘附力與接觸麵積的關繫錶達式,錶明在微觀接觸中,接觸麵積對粘附力起著主導作用.尖頭探針與薄膜錶麵的微觀摩抆繫數取決于錶麵粗糙峰的斜率,與粗糙峰的高度相關不大；毬頭探針與薄膜錶麵的摩抆力主要取決于單位麵積接觸粗糙峰密度；平頭探針與薄膜錶麵的摩抆力主要取決于外加載荷,錶麵形貌的微觀呎吋效應可忽略.
채용AFM첨두탐침、구두탐침화평두탐침대Si-DLC막진행마찰실험,연구료박막적미관마찰역학성능,탐토료불동접촉척도하박막표면점부력급마찰산생적궤리.건립료불동탐침여박막표면조조봉적접촉모형,추도료표면점부력여접촉면적적관계표체식,표명재미관접촉중,접촉면적대점부력기착주도작용.첨두탐침여박막표면적미관마찰계수취결우표면조조봉적사솔,여조조봉적고도상관불대；구두탐침여박막표면적마찰력주요취결우단위면적접촉조조봉밀도；평두탐침여박막표면적마찰력주요취결우외가재하,표면형모적미관척촌효응가홀략.
