河北工业大学学报
河北工業大學學報
하북공업대학학보
JOURNAL OF HEBEI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
2011年
2期
32-36
,共5页
王铁宝%王晓东%刘强安%何丽静
王鐵寶%王曉東%劉彊安%何麗靜
왕철보%왕효동%류강안%하려정
纳米薄膜%Al2O3%离子束沉积%掠入射衍射%X射线衍射
納米薄膜%Al2O3%離子束沉積%掠入射衍射%X射線衍射
납미박막%Al2O3%리자속침적%략입사연사%X사선연사
在单晶Si基片用离子束溅射沉积法制备了1～100nm的Al2O3纳米薄膜.利用原子力显微镜分析和研究了不同厚度Al2O3纳米薄膜的表面形貌,并用X射线光电子能谱(XPS)仪和X射线衍射仪分别对100 nm的Al2O3纳米薄膜表面结构和成分进行了表征,结果表明:薄膜厚度在1～50 nm范围时,颗粒形态随着薄膜厚度的变化逐渐变化,由二维生长的胞状渐变为多个颗粒聚成的球状.当薄膜厚度大于50nm时,小的球形颗粒聚成大球形颗粒,并且球形颗粒生长状态为三维生长.随着薄膜厚度的增加表面粗糙度先增加后减小,当薄膜厚为5 nm时出现最大值;在衬底温度低于100℃的条件下,沉积在基片上的纳米薄膜为非晶态,纳米颗粒为无方向性沉积,颗粒呈团球状,其成分基本满足Al2O3的标准成分配比.
在單晶Si基片用離子束濺射沉積法製備瞭1～100nm的Al2O3納米薄膜.利用原子力顯微鏡分析和研究瞭不同厚度Al2O3納米薄膜的錶麵形貌,併用X射線光電子能譜(XPS)儀和X射線衍射儀分彆對100 nm的Al2O3納米薄膜錶麵結構和成分進行瞭錶徵,結果錶明:薄膜厚度在1～50 nm範圍時,顆粒形態隨著薄膜厚度的變化逐漸變化,由二維生長的胞狀漸變為多箇顆粒聚成的毬狀.噹薄膜厚度大于50nm時,小的毬形顆粒聚成大毬形顆粒,併且毬形顆粒生長狀態為三維生長.隨著薄膜厚度的增加錶麵粗糙度先增加後減小,噹薄膜厚為5 nm時齣現最大值;在襯底溫度低于100℃的條件下,沉積在基片上的納米薄膜為非晶態,納米顆粒為無方嚮性沉積,顆粒呈糰毬狀,其成分基本滿足Al2O3的標準成分配比.
재단정Si기편용리자속천사침적법제비료1～100nm적Al2O3납미박막.이용원자력현미경분석화연구료불동후도Al2O3납미박막적표면형모,병용X사선광전자능보(XPS)의화X사선연사의분별대100 nm적Al2O3납미박막표면결구화성분진행료표정,결과표명:박막후도재1～50 nm범위시,과립형태수착박막후도적변화축점변화,유이유생장적포상점변위다개과립취성적구상.당박막후도대우50nm시,소적구형과립취성대구형과립,병차구형과립생장상태위삼유생장.수착박막후도적증가표면조조도선증가후감소,당박막후위5 nm시출현최대치;재츤저온도저우100℃적조건하,침적재기편상적납미박막위비정태,납미과립위무방향성침적,과립정단구상,기성분기본만족Al2O3적표준성분배비.
