硅谷
硅穀
규곡
SILICON VALLEY
2010年
22期
22-23
,共2页
纳米%光刻%加工技术
納米%光刻%加工技術
납미%광각%가공기술
纳米技术是一种在0.1-100nm尺度上研究原子、分子现象及其结构信息的技术.纳米技术的主要作用体现在两个方面:①促进器件小型化,使低成本、高集成度的微器件、微传感器、微型仪器成为可能;②物质在纳米尺度上表现出纳米效应,包括量子效应、较强的表面、界面效应等,会使得物质具有很多新特性,从而能够制造出新的具有特定功能的装置.纳米技术的最终目标是操纵单个原子和分子,并在纳米尺度上设计制各表面结构,进而制造出具有特定功能的产品,实现生产方式的飞跃.主要综述当前几种主要纳米光刻加工技术的类型、工艺、特点,及其在表面纳米结构加工中的应用.
納米技術是一種在0.1-100nm呎度上研究原子、分子現象及其結構信息的技術.納米技術的主要作用體現在兩箇方麵:①促進器件小型化,使低成本、高集成度的微器件、微傳感器、微型儀器成為可能;②物質在納米呎度上錶現齣納米效應,包括量子效應、較彊的錶麵、界麵效應等,會使得物質具有很多新特性,從而能夠製造齣新的具有特定功能的裝置.納米技術的最終目標是操縱單箇原子和分子,併在納米呎度上設計製各錶麵結構,進而製造齣具有特定功能的產品,實現生產方式的飛躍.主要綜述噹前幾種主要納米光刻加工技術的類型、工藝、特點,及其在錶麵納米結構加工中的應用.
납미기술시일충재0.1-100nm척도상연구원자、분자현상급기결구신식적기술.납미기술적주요작용체현재량개방면:①촉진기건소형화,사저성본、고집성도적미기건、미전감기、미형의기성위가능;②물질재납미척도상표현출납미효응,포괄양자효응、교강적표면、계면효응등,회사득물질구유흔다신특성,종이능구제조출신적구유특정공능적장치.납미기술적최종목표시조종단개원자화분자,병재납미척도상설계제각표면결구,진이제조출구유특정공능적산품,실현생산방식적비약.주요종술당전궤충주요납미광각가공기술적류형、공예、특점,급기재표면납미결구가공중적응용.
