激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2010年
5期
636-639
,共4页
白帆%戴玉堂%徐刚%崔建磊
白帆%戴玉堂%徐剛%崔建磊
백범%대옥당%서강%최건뢰
激光技术%157nm深紫外激光%扫描刻蚀%打孔%微加工%蓝宝石基片
激光技術%157nm深紫外激光%掃描刻蝕%打孔%微加工%藍寶石基片
격광기술%157nm심자외격광%소묘각식%타공%미가공%람보석기편
为了探索157nm深紫外激光对蓝宝石材料的微加工技术,采用157nm激光微加工系统,对蓝宝石基片进行了扫描刻蚀和打孔加工,以研究激光工艺参量与刻蚀深度、表面形貌的关系,分析了157nm深紫外激光对蓝宝石材料的作用机理,并利用扫描刻蚀法在蓝宝石基片上加工了一个2维图形.由实验结果可知,157nm深紫外激光作用于蓝宝石材料是一个光化学作用与光热作用并存的加工过程,适合扫描刻蚀的加工参量为能量密度3.2J/cm2,重复频率10Hz～20Hz,扫描速率0.15mm/min;在能量密度2.5J/cm2下的刻蚀率为0.039μm/pulse.结果表明,通过对激光重复频率和扫描速度的控制可实现蓝宝石材料的精细微加工.
為瞭探索157nm深紫外激光對藍寶石材料的微加工技術,採用157nm激光微加工繫統,對藍寶石基片進行瞭掃描刻蝕和打孔加工,以研究激光工藝參量與刻蝕深度、錶麵形貌的關繫,分析瞭157nm深紫外激光對藍寶石材料的作用機理,併利用掃描刻蝕法在藍寶石基片上加工瞭一箇2維圖形.由實驗結果可知,157nm深紫外激光作用于藍寶石材料是一箇光化學作用與光熱作用併存的加工過程,適閤掃描刻蝕的加工參量為能量密度3.2J/cm2,重複頻率10Hz～20Hz,掃描速率0.15mm/min;在能量密度2.5J/cm2下的刻蝕率為0.039μm/pulse.結果錶明,通過對激光重複頻率和掃描速度的控製可實現藍寶石材料的精細微加工.
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