计测技术
計測技術
계측기술
METROLOGY & MEASUREMENT TECHNOLOGY
2010年
z1期
150-152
,共3页
王玉青%李亚楠%姜维宾%宋树良%裘南畹
王玉青%李亞楠%薑維賓%宋樹良%裘南畹
왕옥청%리아남%강유빈%송수량%구남원
薄膜元件%气敏特性%热功耗特性
薄膜元件%氣敏特性%熱功耗特性
박막원건%기민특성%열공모특성
简要叙述了气敏元件技术改造的情况,介绍了研制薄膜气敏元件的工艺流程和芯片结构以及我们已研制出的薄膜元件(SnO2, ZnO, Fe2O3, TiO2, ZnSnO3)的气敏特性和温耗特性.
簡要敘述瞭氣敏元件技術改造的情況,介紹瞭研製薄膜氣敏元件的工藝流程和芯片結構以及我們已研製齣的薄膜元件(SnO2, ZnO, Fe2O3, TiO2, ZnSnO3)的氣敏特性和溫耗特性.
간요서술료기민원건기술개조적정황,개소료연제박막기민원건적공예류정화심편결구이급아문이연제출적박막원건(SnO2, ZnO, Fe2O3, TiO2, ZnSnO3)적기민특성화온모특성.
