AZ31镁合金表面磁控溅射SiNx薄膜的性能研究
AZ31미합금표면자공천사SiNx박막적성능연구
Study on Characteristics of SiNx Thin Films by Magnetron Sputering on AZ31 Magnesium Alloys
  • 万方数据
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    MATERIALS REVIEW
    2008年 z3期 384-386 ,共3页

    黄佳木%罗先盛

    황가목%라선성

    SiNx薄膜%磁控溅射%镁合金%腐蚀 SiNx薄膜%磁控濺射%鎂閤金%腐蝕
    SiNx박막%자공천사%미합금%부식
    采用磁控溅射法在AZ31镁合金表面沉积了SiNx薄膜.用场发射扫描电镜、X射线衍射、X光电子能谱等研究分析了薄膜的晶体结构、表面形貌和化学成分.实验结果表明,所制备的SiNx薄膜为非晶态的富N膜;SiNx薄膜可显著降低AZ31在3.5%的NaCl溶液中的腐蚀电流密度,膜厚为1.5靘时,在阳极极化区出现钝化现象.
    채용자공천사법재AZ31미합금표면침적료SiNx박막.용장발사소묘전경、X사선연사、X광전자능보등연구분석료박막적정체결구、표면형모화화학성분.실험결과표명,소제비적SiNx박막위비정태적부N막;SiNx박막가현저강저AZ31재3.5%적NaCl용액중적부식전류밀도,막후위1.5정시,재양겁겁화구출현둔화현상.
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