真空
真空
진공
VACUUM
2008年
6期
57-59
,共3页
罗宇强%任豪%王巧彬%李康业%范力维
囉宇彊%任豪%王巧彬%李康業%範力維
라우강%임호%왕교빈%리강업%범력유
光纤光谱仪%光学薄膜%宽光谱%膜厚监控%综合监控%LabVIEW
光纖光譜儀%光學薄膜%寬光譜%膜厚鑑控%綜閤鑑控%LabVIEW
광섬광보의%광학박막%관광보%막후감공%종합감공%LabVIEW
本文介绍了一种基于光纤光谱仪的宽光谱综合监控系统,该系统在光学镀膜过程中,采用实时宽光谱、评价函数、单波长极值、色度分析等多种方法综合监控光学薄膜膜厚.详细阐述了该系统的工作原理、硬件系统和软件系统,并进行了一系列镀膜实验.实验结果表明该系统能够实现光学镀膜在线实时监控,且非常适合国产镀膜设备的升级改造.
本文介紹瞭一種基于光纖光譜儀的寬光譜綜閤鑑控繫統,該繫統在光學鍍膜過程中,採用實時寬光譜、評價函數、單波長極值、色度分析等多種方法綜閤鑑控光學薄膜膜厚.詳細闡述瞭該繫統的工作原理、硬件繫統和軟件繫統,併進行瞭一繫列鍍膜實驗.實驗結果錶明該繫統能夠實現光學鍍膜在線實時鑑控,且非常適閤國產鍍膜設備的升級改造.
본문개소료일충기우광섬광보의적관광보종합감공계통,해계통재광학도막과정중,채용실시관광보、평개함수、단파장겁치、색도분석등다충방법종합감공광학박막막후.상세천술료해계통적공작원리、경건계통화연건계통,병진행료일계렬도막실험.실험결과표명해계통능구실현광학도막재선실시감공,차비상괄합국산도막설비적승급개조.
