激光精密刻蚀技术在硅太阳电池制备工艺中的应用
격광정밀각식기술재규태양전지제비공예중적응용
Applications of Laser Minutely Cutting Technology in Fabricating Silicon Solar Cells
  • 万方数据
    光子学报 광자학보
    ACTA PHOTONICA SINICA
    2008年 11期 2137-2140 ,共4页

    王宏杰%王亚楠%彭建强%吕福云%杜永超%刘建生%孙彦铮

    왕굉걸%왕아남%팽건강%려복운%두영초%류건생%손언쟁

    高亮度激光%硅太阳电池%对称式抽运%转换效率 高亮度激光%硅太暘電池%對稱式抽運%轉換效率
    고량도격광%규태양전지%대칭식추운%전환효솔
    依据光学谐振腔的图解分析与设计方法,对以Nd:YAG固体激光器作光源的激光切割机进行了设计改进,实现了高亮度激光输出.并利用该设备对硅太阳电池进行了激光精密切割试验,使埋栅太阳电池电极槽达到了平均宽度为150±5 μm,槽深100±10 μm的设计指标.在发射结卷包太阳电池所用的硅衬底片上进行激光精密穿孔,目前最小孔径为20 μm.通过应用激光精密刻蚀技术,现将埋栅太阳电池光电转换效率提高到了21%,接近该领域的世界先进水平.
    의거광학해진강적도해분석여설계방법,대이Nd:YAG고체격광기작광원적격광절할궤진행료설계개진,실현료고량도격광수출.병이용해설비대규태양전지진행료격광정밀절할시험,사매책태양전지전겁조체도료평균관도위150±5 μm,조심100±10 μm적설계지표.재발사결권포태양전지소용적규츤저편상진행격광정밀천공,목전최소공경위20 μm.통과응용격광정밀각식기술,현장매책태양전지광전전환효솔제고도료21%,접근해영역적세계선진수평.
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