传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2008年
9期
1-3
,共3页
声表面波%化学传感器%敏感膜
聲錶麵波%化學傳感器%敏感膜
성표면파%화학전감기%민감막
简要叙述了声表面波(SAW)化学战剂传感器的传感原理和研究进展.详细阐述了高Q低插损SAW振荡电路的设计、敏感膜材料和成膜技术的研究进展,指出了SAW化学战剂传感器发展的趋势.
簡要敘述瞭聲錶麵波(SAW)化學戰劑傳感器的傳感原理和研究進展.詳細闡述瞭高Q低插損SAW振盪電路的設計、敏感膜材料和成膜技術的研究進展,指齣瞭SAW化學戰劑傳感器髮展的趨勢.
간요서술료성표면파(SAW)화학전제전감기적전감원리화연구진전.상세천술료고Q저삽손SAW진탕전로적설계、민감막재료화성막기술적연구진전,지출료SAW화학전제전감기발전적추세.
