中国仪器仪表
中國儀器儀錶
중국의기의표
CHINA INSTRUMENTATION
2008年
8期
37-39
,共3页
陈光红%吴清鑫%于映%罗仲梓
陳光紅%吳清鑫%于映%囉仲梓
진광홍%오청흠%우영%라중재
射频MEMS开关%金属-金属接触串联式%电容耦合并联式
射頻MEMS開關%金屬-金屬接觸串聯式%電容耦閤併聯式
사빈MEMS개관%금속-금속접촉천련식%전용우합병련식
概述射频MEMS开关的研究背景及意义,介绍国内外射频MEMS开关的研究现状,列举出两种主要的射频MEMS开关:电容耦合并联式开关和金属-金属接触串联式开关的结构、工作原理、性能比较.
概述射頻MEMS開關的研究揹景及意義,介紹國內外射頻MEMS開關的研究現狀,列舉齣兩種主要的射頻MEMS開關:電容耦閤併聯式開關和金屬-金屬接觸串聯式開關的結構、工作原理、性能比較.
개술사빈MEMS개관적연구배경급의의,개소국내외사빈MEMS개관적연구현상,열거출량충주요적사빈MEMS개관:전용우합병련식개관화금속-금속접촉천련식개관적결구、공작원리、성능비교.
