现代制造技术与装备
現代製造技術與裝備
현대제조기술여장비
MODERN MANUFACTURING TECHNOLOGY AND EQUIPMENT
2008年
4期
17-18,25
,共3页
王兵%顾建峰%何辉辉%汤云霞%周海%陈西府%冶远详
王兵%顧建峰%何輝輝%湯雲霞%週海%陳西府%冶遠詳
왕병%고건봉%하휘휘%탕운하%주해%진서부%야원상
蓝宝石%化学机械抛光%运动分析%计算机仿真
藍寶石%化學機械拋光%運動分析%計算機倣真
람보석%화학궤계포광%운동분석%계산궤방진
本文分析了双面抛光机的抛光原理,建立了晶片在抛光过程中运动的数学模型,采用VC语言时双面抛光加工进行运动仿真,分析了不同参数对抛光效果的影响,获得了最合理的抛光运动参数,并且在抛光机上得到了验证.
本文分析瞭雙麵拋光機的拋光原理,建立瞭晶片在拋光過程中運動的數學模型,採用VC語言時雙麵拋光加工進行運動倣真,分析瞭不同參數對拋光效果的影響,穫得瞭最閤理的拋光運動參數,併且在拋光機上得到瞭驗證.
본문분석료쌍면포광궤적포광원리,건립료정편재포광과정중운동적수학모형,채용VC어언시쌍면포광가공진행운동방진,분석료불동삼수대포광효과적영향,획득료최합리적포광운동삼수,병차재포광궤상득도료험증.
