机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2007年
8期
86-90
,共5页
刘红忠%丁玉成%卢秉恒%尹磊%蒋维涛%史永胜%邵金友
劉紅忠%丁玉成%盧秉恆%尹磊%蔣維濤%史永勝%邵金友
류홍충%정옥성%로병항%윤뢰%장유도%사영성%소금우
释放保型%弹性模具%软压印
釋放保型%彈性模具%軟壓印
석방보형%탄성모구%연압인
针对压印过程中模具与晶圆密贴度和压印面积的矛盾,提出释放保型软压印光刻工艺.此工艺包括五步加载过程,可充分挖掘压印图型转印误差根源以及图型转印保真度与阻蚀胶留膜厚度的内在矛盾.通过目标载荷量的调节与控制将模具弹性回弹调整到紫外光固化步骤前,消除压印过程的内在矛盾,实现压印面积由2cm2向8cm2的提升,同时保证阻蚀胶留膜厚度的要求.基于创新的释放保型软压印工艺,一套低成本及结构简单的压印光刻原型机被设计构建,一系列压印结果证明应用此工艺的压印光刻机具有同场压印不同面积、特征尺寸结构图型的多次复制能力.
針對壓印過程中模具與晶圓密貼度和壓印麵積的矛盾,提齣釋放保型軟壓印光刻工藝.此工藝包括五步加載過程,可充分挖掘壓印圖型轉印誤差根源以及圖型轉印保真度與阻蝕膠留膜厚度的內在矛盾.通過目標載荷量的調節與控製將模具彈性迴彈調整到紫外光固化步驟前,消除壓印過程的內在矛盾,實現壓印麵積由2cm2嚮8cm2的提升,同時保證阻蝕膠留膜厚度的要求.基于創新的釋放保型軟壓印工藝,一套低成本及結構簡單的壓印光刻原型機被設計構建,一繫列壓印結果證明應用此工藝的壓印光刻機具有同場壓印不同麵積、特徵呎吋結構圖型的多次複製能力.
침대압인과정중모구여정원밀첩도화압인면적적모순,제출석방보형연압인광각공예.차공예포괄오보가재과정,가충분알굴압인도형전인오차근원이급도형전인보진도여조식효류막후도적내재모순.통과목표재하량적조절여공제장모구탄성회탄조정도자외광고화보취전,소제압인과정적내재모순,실현압인면적유2cm2향8cm2적제승,동시보증조식효류막후도적요구.기우창신적석방보형연압인공예,일투저성본급결구간단적압인광각원형궤피설계구건,일계렬압인결과증명응용차공예적압인광각궤구유동장압인불동면적、특정척촌결구도형적다차복제능력.
