无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2008年
1期
180-184
,共5页
张化宇%檀满林%韩杰才%朱嘉琦%贾泽纯
張化宇%檀滿林%韓傑纔%硃嘉琦%賈澤純
장화우%단만림%한걸재%주가기%가택순
四面体非晶碳(ta-C)%XPS%Raman光谱
四麵體非晶碳(ta-C)%XPS%Raman光譜
사면체비정탄(ta-C)%XPS%Raman광보
分别采用过滤阴极真空电弧技术制备了不同含硼量四面体非晶碳(ta-C:B)膜,并用X射线光电子能谱(XPS)、Raman光谱对薄膜的微观结构和化学键态进行了研究.XPS分析表明薄膜中B主要以石墨结构形式存在,随着B含量的增加,sp3杂化碳的含量逐渐减小,Ta-C:B膜的Raman谱线在含硼量较高时,其D峰和G峰向低频区偏移,且G峰的半峰宽变窄,表明B的引入促进了sp2杂化碳的团簇化,减小了原子价键之间的变形,从而降低了薄膜的内应力.
分彆採用過濾陰極真空電弧技術製備瞭不同含硼量四麵體非晶碳(ta-C:B)膜,併用X射線光電子能譜(XPS)、Raman光譜對薄膜的微觀結構和化學鍵態進行瞭研究.XPS分析錶明薄膜中B主要以石墨結構形式存在,隨著B含量的增加,sp3雜化碳的含量逐漸減小,Ta-C:B膜的Raman譜線在含硼量較高時,其D峰和G峰嚮低頻區偏移,且G峰的半峰寬變窄,錶明B的引入促進瞭sp2雜化碳的糰簇化,減小瞭原子價鍵之間的變形,從而降低瞭薄膜的內應力.
분별채용과려음겁진공전호기술제비료불동함붕량사면체비정탄(ta-C:B)막,병용X사선광전자능보(XPS)、Raman광보대박막적미관결구화화학건태진행료연구.XPS분석표명박막중B주요이석묵결구형식존재,수착B함량적증가,sp3잡화탄적함량축점감소,Ta-C:B막적Raman보선재함붕량교고시,기D봉화G봉향저빈구편이,차G봉적반봉관변착,표명B적인입촉진료sp2잡화탄적단족화,감소료원자개건지간적변형,종이강저료박막적내응력.
