金属基体上硬质薄膜内应力的释放测量法
금속기체상경질박막내응력적석방측량법
Measurement of Internal Stresses in Hard Films Grown on Metal Substrate
  • 万方数据
    真空科学与技术学报 진공과학여기술학보
    JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
    2007年 6期 545-548 ,共4页

    黄碧龙%吴莹%戴嘉维%李戈扬

    황벽룡%오형%대가유%리과양

    硬质薄膜%内应力 硬質薄膜%內應力
    경질박막%내응력
    提出了一种基于Stoney公式测量金属基体上硬质薄膜内应力的应力释放法,并研究了不同基底温度对磁控溅射TiN薄膜内应力的影响.
    제출료일충기우Stoney공식측량금속기체상경질박막내응력적응력석방법,병연구료불동기저온도대자공천사TiN박막내응력적영향.
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