半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2007年
z1期
275-278
,共4页
卢洋藩%叶志镇%曾昱嘉%徐伟中%朱丽萍%赵炳辉
盧洋藩%葉誌鎮%曾昱嘉%徐偉中%硃麗萍%趙炳輝
로양번%협지진%증욱가%서위중%주려평%조병휘
ZnO%p型掺杂%金属有机化学气相沉积%射频等离子体
ZnO%p型摻雜%金屬有機化學氣相沉積%射頻等離子體
ZnO%p형참잡%금속유궤화학기상침적%사빈등리자체
研究了等离子体辅助金属有机化学气相沉积方法制备N掺杂p型ZnO薄膜过程中生长参数如衬底温度、射频功率、锌源流量对ZnO薄膜结晶质量和电学性能的影响.
研究瞭等離子體輔助金屬有機化學氣相沉積方法製備N摻雜p型ZnO薄膜過程中生長參數如襯底溫度、射頻功率、鋅源流量對ZnO薄膜結晶質量和電學性能的影響.
연구료등리자체보조금속유궤화학기상침적방법제비N참잡p형ZnO박막과정중생장삼수여츤저온도、사빈공솔、자원류량대ZnO박막결정질량화전학성능적영향.
