CAJ | 학술논문

通过展示近年来国内外金属氮化物膜层的研究结果,探究了膜层晶体结构、微观组织的变化规律和提高性能的途径;列举了大量文献进行分析.结果表明:添加C或B元素,可形成"替位式"的金属氮碳化物或氮硼化物膜层,具有明显的固溶强化效应;大部分氮硼化物膜层,都可生成细小的金属硼化物,对性能的提高非常有力;加入Si可以细化晶粒,提高膜层的韧性和耐磨性.在TiN和CrN膜层中加入金属合金化元素(如Al、Zr等),除具有明显的固溶强化效应外,还能显著提高膜层的高温氧化阻力和腐蚀阻力,提高膜层的耐磨性.沉积膜层的显微组织结构,可以通过调整"合金化"元素的比率来改变,并由此可以对膜层性能进行调制.通过"合金化",金属氮化物膜层的晶体结构、微观组织都可以调制,综合性能显著改善和提高.
통과전시근년래국내외금속담화물막층적연구결과,탐구료막층정체결구、미관조직적변화규률화제고성능적도경;열거료대량문헌진행분석.결과표명:첨가C혹B원소,가형성"체위식"적금속담탄화물혹담붕화물막층,구유명현적고용강화효응;대부분담붕화물막층,도가생성세소적금속붕화물,대성능적제고비상유력;가입Si가이세화정립,제고막층적인성화내마성.재TiN화CrN막층중가입금속합금화원소(여Al、Zr등),제구유명현적고용강화효응외,환능현저제고막층적고온양화조력화부식조력,제고막층적내마성.침적막층적현미조직결구,가이통과조정"합금화"원소적비솔래개변,병유차가이대막층성능진행조제.통과"합금화",금속담화물막층적정체결구、미관조직도가이조제,종합성능현저개선화제고.