CAJ | 학술논문

热等静压(Hot Isostatic Press,HIP)技术是在惰性气氛中,在各向均衡的气体高压力及高温共同作用下,去除材料内部的孔洞及缺陷,以改善机械性质、使粉末材料及表面蒸镀物具一致性、通过扩散键结(diffusion bonding)改善焊接完整性等.热等静压适用于多种材料及器件,特别是铝合金、工具钢、钛、超合金以及蒸汽涡轮零件、医学植入件、自动化铸件、靶材与粉末冶金制品等.考虑到近年来随着高密度、高传输速率光储存媒体及平面显示器的发展,靶材的研究与开发,巳成为光学薄膜制造的关键技术,该文作者以热等静压方法改善金属靶材,比较热等静压前后靶材性质差异和论证批量生产的可行性;并探讨热等静压处理对靶材性质的影响、比较其显微结构变化,以评估热等静压改善金属靶材材之可行性.研究结果显示,利用1 100 ℃,175 MPa,4 h热等静压的制备流程条件,对3种不同成分配比之Cr-Si热压靶材进行热等静压处理,均可有效改善孔隙率,其中以50Cr-50Si的热等静压效果最为显著,孔隙率可有效降低60%.此外,靶材在经过热等静压后,由于炉内气体的纯化效应而使得靶材的氮、氧浓度皆有所上升,尤其是Si以单独元素形态存在时更甚,从而造成靶材纯度受到影响.
열등정압(Hot Isostatic Press,HIP)기술시재타성기분중,재각향균형적기체고압력급고온공동작용하,거제재료내부적공동급결함,이개선궤계성질、사분말재료급표면증도물구일치성、통과확산건결(diffusion bonding)개선한접완정성등.열등정압괄용우다충재료급기건,특별시려합금、공구강、태、초합금이급증기와륜령건、의학식입건、자동화주건、파재여분말야금제품등.고필도근년래수착고밀도、고전수속솔광저존매체급평면현시기적발전,파재적연구여개발,사성위광학박막제조적관건기술,해문작자이열등정압방법개선금속파재,비교열등정압전후파재성질차이화론증비량생산적가행성;병탐토열등정압처리대파재성질적영향、비교기현미결구변화,이평고열등정압개선금속파재재지가행성.연구결과현시,이용1 100 ℃,175 MPa,4 h열등정압적제비류정조건,대3충불동성분배비지Cr-Si열압파재진행열등정압처리,균가유효개선공극솔,기중이50Cr-50Si적열등정압효과최위현저,공극솔가유효강저60%.차외,파재재경과열등정압후,유우로내기체적순화효응이사득파재적담、양농도개유소상승,우기시Si이단독원소형태존재시경심,종이조성파재순도수도영향.