测控技术
測控技術
측공기술
MEASUREMENT & CONTROL TECHNOLOGY
2007年
9期
62-64
,共3页
牛顿环法%翘曲度%极值点提取%条纹图
牛頓環法%翹麯度%極值點提取%條紋圖
우돈배법%교곡도%겁치점제취%조문도
分析了牛顿环法的测量原理,利用牛顿环法对芯片翘曲度进行了测量.在钠光源照射下,利用CCD摄像机采集芯片和基准面之间的等厚干涉条纹.为快速、准确地计算条纹级数,提出了极值点提取法,该方法能够自动获取灰度曲线极值点的个数以及位置.由灰度曲线的极小值点个数得到暗条纹级数,从而获取芯片相对于基准面的翘曲程度,完成芯片的翘曲度测量.利用该方法对手机屏幕芯片的翘曲度进行了测量,并将测量结果与投影散斑相关测量法所得结果进行分析比较.实验结果表明极值点提取法计算牛顿环条纹级数、实现芯片翘曲度测量的精度和可行性.
分析瞭牛頓環法的測量原理,利用牛頓環法對芯片翹麯度進行瞭測量.在鈉光源照射下,利用CCD攝像機採集芯片和基準麵之間的等厚榦涉條紋.為快速、準確地計算條紋級數,提齣瞭極值點提取法,該方法能夠自動穫取灰度麯線極值點的箇數以及位置.由灰度麯線的極小值點箇數得到暗條紋級數,從而穫取芯片相對于基準麵的翹麯程度,完成芯片的翹麯度測量.利用該方法對手機屏幕芯片的翹麯度進行瞭測量,併將測量結果與投影散斑相關測量法所得結果進行分析比較.實驗結果錶明極值點提取法計算牛頓環條紋級數、實現芯片翹麯度測量的精度和可行性.
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