真空
真空
진공
VACUUM
2007年
4期
72-74
,共3页
安双利%蒋迪奎%蒋罗荣%金建初
安雙利%蔣迪奎%蔣囉榮%金建初
안쌍리%장적규%장라영%금건초
超高真空%钛升华泵%非蒸散型吸气剂%复合电源%LabVIEW
超高真空%鈦升華泵%非蒸散型吸氣劑%複閤電源%LabVIEW
초고진공%태승화빙%비증산형흡기제%복합전원%LabVIEW
上海第三代同步辐射光源(SSRF)的动态真空要求为1.3×10-7 Pa,要获得这样的超高真空环境,真空系统配置了多台钛升华泵(TSP)和非蒸散型吸气剂(NEG)组件,针对这两种设备的工作参数,研制了一种带有计算机通信接口的复合电源,并在LabVIEW环境下开发了一套相应的控制软件,实现了对TSP和NEG的本地和远程控制.经过测试,该控制器和控制软件均已达到了设计指标,可以正式投入到上海光源项目上使用.
上海第三代同步輻射光源(SSRF)的動態真空要求為1.3×10-7 Pa,要穫得這樣的超高真空環境,真空繫統配置瞭多檯鈦升華泵(TSP)和非蒸散型吸氣劑(NEG)組件,針對這兩種設備的工作參數,研製瞭一種帶有計算機通信接口的複閤電源,併在LabVIEW環境下開髮瞭一套相應的控製軟件,實現瞭對TSP和NEG的本地和遠程控製.經過測試,該控製器和控製軟件均已達到瞭設計指標,可以正式投入到上海光源項目上使用.
상해제삼대동보복사광원(SSRF)적동태진공요구위1.3×10-7 Pa,요획득저양적초고진공배경,진공계통배치료다태태승화빙(TSP)화비증산형흡기제(NEG)조건,침대저량충설비적공작삼수,연제료일충대유계산궤통신접구적복합전원,병재LabVIEW배경하개발료일투상응적공제연건,실현료대TSP화NEG적본지화원정공제.경과측시,해공제기화공제연건균이체도료설계지표,가이정식투입도상해광원항목상사용.
