电子测量技术
電子測量技術
전자측량기술
ELECTRONIC MEASUREMENT TECHNOLOGY
2007年
3期
6-9
,共4页
电过力%静电放电%失效分析%失效机理%PN结退化
電過力%靜電放電%失效分析%失效機理%PN結退化
전과력%정전방전%실효분석%실효궤리%PN결퇴화
本文将IC电过力失效机理划分为EOS和ESD分别进行阐述,EOS和ESD2种失效模式的相似使得对它们失效机理的判断变得困难,但借助SEM和FIB等先进的成像设备可以揭示2种失效机理的重要差别.本文先通过实例分析揭示了2种失效机理的差别,其中从理论角度突出对ESD失效机理和失效位置的研究;然后,借助仪器分析的结果对ESD失效案例的ESD放电路径做了合理推断,这种通过失效分析推断放电路径的方法对于改善ESD保护电路性能和提高ESD防护等级有着重要参考作用.
本文將IC電過力失效機理劃分為EOS和ESD分彆進行闡述,EOS和ESD2種失效模式的相似使得對它們失效機理的判斷變得睏難,但藉助SEM和FIB等先進的成像設備可以揭示2種失效機理的重要差彆.本文先通過實例分析揭示瞭2種失效機理的差彆,其中從理論角度突齣對ESD失效機理和失效位置的研究;然後,藉助儀器分析的結果對ESD失效案例的ESD放電路徑做瞭閤理推斷,這種通過失效分析推斷放電路徑的方法對于改善ESD保護電路性能和提高ESD防護等級有著重要參攷作用.
본문장IC전과력실효궤리화분위EOS화ESD분별진행천술,EOS화ESD2충실효모식적상사사득대타문실효궤리적판단변득곤난,단차조SEM화FIB등선진적성상설비가이게시2충실효궤리적중요차별.본문선통과실례분석게시료2충실효궤리적차별,기중종이론각도돌출대ESD실효궤리화실효위치적연구;연후,차조의기분석적결과대ESD실효안례적ESD방전로경주료합리추단,저충통과실효분석추단방전로경적방법대우개선ESD보호전로성능화제고ESD방호등급유착중요삼고작용.
