大面积CdTe多晶薄膜的制备及其性能
대면적CdTe다정박막적제비급기성능
Preparation and property of large scale CdTe thin film
  • 万方数据
    功能材料与器件学报 공능재료여기건학보
    JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
    2007年 1期 68-72 ,共5页

    蒋显辉%郑家贵%黎兵%夏庚培%武莉莉%冯良桓%蔡伟%张静全%李卫%雷智

    장현휘%정가귀%려병%하경배%무리리%풍량환%채위%장정전%리위%뢰지

    CdTe薄膜%近空间升华法%大面积 CdTe薄膜%近空間升華法%大麵積
    CdTe박막%근공간승화법%대면적
    通过研究大面积CdTe多晶薄膜沉积的升温过程,并调节石墨群边改进加热灯管的分布获得了较均匀的温场,在混合氩氧气氛下,用自行设计制造的近空间升华系统制备出了面积为300 mm×400 mm的大面积CdTe多晶薄膜,利用XRD、SEM研究其结构、成分和形貌,结果表明:CdTe薄膜呈(111)择优取向,且薄膜总体致密均匀,晶粒大小约为1 μm左右.用此大面积CdTe薄膜的不同部分制备的CdS/CdTe/ZnTe:Cu小面积太阳电池效率相差不大,说明薄膜的均匀性较好.
    통과연구대면적CdTe다정박막침적적승온과정,병조절석묵군변개진가열등관적분포획득료교균균적온장,재혼합아양기분하,용자행설계제조적근공간승화계통제비출료면적위300 mm×400 mm적대면적CdTe다정박막,이용XRD、SEM연구기결구、성분화형모,결과표명:CdTe박막정(111)택우취향,차박막총체치밀균균,정립대소약위1 μm좌우.용차대면적CdTe박막적불동부분제비적CdS/CdTe/ZnTe:Cu소면적태양전지효솔상차불대,설명박막적균균성교호.
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