各向同性腐蚀法制备多晶硅绒面
각향동성부식법제비다정규융면
Isotropic Texturing of Multicrystalline Silicon
  • 万方数据
    材料科学与工程学报 재료과학여공정학보
    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
    2007年 1期 95-98 ,共4页

    郭志球%柳锡运%沈辉%刘正义

    곽지구%류석운%침휘%류정의

    各向同性腐蚀%多晶硅%酸性腐蚀 各嚮同性腐蝕%多晶硅%痠性腐蝕
    각향동성부식%다정규%산성부식
    本文介绍了一系列利用各向同性腐蚀法制备多晶硅绒面的试验,腐蚀液为硝酸和氢氟酸的混合溶液,添加了醋酸稀释液是为了降低反应速度.通过优化各种参数,获得了腐蚀速度平缓,适合工业生产的多晶硅绒面,绒面分布均匀.随着反应的进行,腐蚀坑由微裂纹状转变为气泡状,经反射率测定表明绒面达到了较好的减反效果.
    본문개소료일계렬이용각향동성부식법제비다정규융면적시험,부식액위초산화경불산적혼합용액,첨가료작산희석액시위료강저반응속도.통과우화각충삼수,획득료부식속도평완,괄합공업생산적다정규융면,융면분포균균.수착반응적진행,부식갱유미렬문상전변위기포상,경반사솔측정표명융면체도료교호적감반효과.
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