硅酸盐通报
硅痠鹽通報
규산염통보
BULLETIN OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY
2006年
4期
18-21
,共4页
韦其红%陶文宏%付兴华%侯文萍
韋其紅%陶文宏%付興華%侯文萍
위기홍%도문굉%부흥화%후문평
钛酸锶钡薄膜%X射线衍射%介频谱%介温谱
鈦痠鍶鋇薄膜%X射線衍射%介頻譜%介溫譜
태산송패박막%X사선연사%개빈보%개온보
用醋酸盐和钛酸四丁酯为原料,采用sol-gel工艺在Pt/TiO/SiO/Si基片上制备了含有Mg元素的Sr0.5Ba0.5-xMgxTiO3薄膜,其退火处理温度为750℃.通过X射线衍射和扫描电镜分析技术研究了薄膜的相结构和形貌.采用美国HP Angilent 4294A阻抗分析仪测试了以Pt为底电极、Ag为上电极的MFM电容器的介电性能.实验结果表明:掺镁Sr05Ba05.xMgxTiO3薄膜较未掺杂的Ba05Sr0.5TiO3薄膜相对介电常数高、介电损耗低.介温谱表明在居里温度附近发生了弥散型相变,且居里温度有向低温方向漂移的趋势.
用醋痠鹽和鈦痠四丁酯為原料,採用sol-gel工藝在Pt/TiO/SiO/Si基片上製備瞭含有Mg元素的Sr0.5Ba0.5-xMgxTiO3薄膜,其退火處理溫度為750℃.通過X射線衍射和掃描電鏡分析技術研究瞭薄膜的相結構和形貌.採用美國HP Angilent 4294A阻抗分析儀測試瞭以Pt為底電極、Ag為上電極的MFM電容器的介電性能.實驗結果錶明:摻鎂Sr05Ba05.xMgxTiO3薄膜較未摻雜的Ba05Sr0.5TiO3薄膜相對介電常數高、介電損耗低.介溫譜錶明在居裏溫度附近髮生瞭瀰散型相變,且居裏溫度有嚮低溫方嚮漂移的趨勢.
용작산염화태산사정지위원료,채용sol-gel공예재Pt/TiO/SiO/Si기편상제비료함유Mg원소적Sr0.5Ba0.5-xMgxTiO3박막,기퇴화처리온도위750℃.통과X사선연사화소묘전경분석기술연구료박막적상결구화형모.채용미국HP Angilent 4294A조항분석의측시료이Pt위저전겁、Ag위상전겁적MFM전용기적개전성능.실험결과표명:참미Sr05Ba05.xMgxTiO3박막교미참잡적Ba05Sr0.5TiO3박막상대개전상수고、개전손모저.개온보표명재거리온도부근발생료미산형상변,차거리온도유향저온방향표이적추세.
