CAJ | 학술논문

利用固相反应成功地制备了直径为70mm,厚度为10～15mm的掺杂Li离子ZnO陶瓷靶材.研究了不同摩尔浓度的Li离子掺杂靶材,并对其绝缘电阻与损耗进行了分析比较,最终确定Li离子的最佳掺杂量为2.2l%(摩尔分数).同时通过在不同温度烧结试验、不同成型压力试验确定了ZnO靶材制备的最佳工艺,并通过所制备的ZnO-Li0.022陶瓷靶,采用RF射频磁控溅射技术在Si(100)、玻璃(载玻片)、及Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基片上制备出高度c轴(002)择优取向、均匀、致密的ZnO薄膜.
이용고상반응성공지제비료직경위70mm,후도위10～15mm적참잡Li리자ZnO도자파재.연구료불동마이농도적Li리자참잡파재,병대기절연전조여손모진행료분석비교,최종학정Li리자적최가참잡량위2.2l%(마이분수).동시통과재불동온도소결시험、불동성형압력시험학정료ZnO파재제비적최가공예,병통과소제비적ZnO-Li0.022도자파,채용RF사빈자공천사기술재Si(100)、파리(재파편)、급Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)기편상제비출고도c축(002)택우취향、균균、치밀적ZnO박막.