半导体量子阱材料微加工光子晶体的光学特性
반도체양자정재료미가공광자정체적광학특성
Optical properties of semiconductor quantum-well material using photonic crystal fabricated by micro-fabrication machine
  • 万方数据
    物理学报 물이학보

    2006年 3期 1248-1252 ,共5页

    许兴胜%熊志刚%孙增辉%杜伟%鲁琳%陈弘达%金爱子%张道中

    허흥성%웅지강%손증휘%두위%로림%진홍체%금애자%장도중

    聚焦离子束%电子束制版%光子晶体%出光效率 聚焦離子束%電子束製版%光子晶體%齣光效率
    취초리자속%전자속제판%광자정체%출광효솔
    利用聚焦离子束刻蚀方法和电子束制版结合干法刻蚀方法制备了二维近红外波段光子晶体,发现两种方法都可以制备出均匀的二维光子晶体,聚焦离子束方法操作简单,电子束制版结合干法刻蚀方法操作步骤复杂.光谱测试表明,利用聚焦离子束方法在有源材料上刻蚀的光子晶体不发光,而电子束制版结合干法刻蚀方法制备的小晶格常数光子晶体即使有些无序,其出光效率也提高到没有光子晶体时的两倍.对两种方法所加工的光子晶体不发光和提高出光效率的机理进行了分析.
    이용취초리자속각식방법화전자속제판결합간법각식방법제비료이유근홍외파단광자정체,발현량충방법도가이제비출균균적이유광자정체,취초리자속방법조작간단,전자속제판결합간법각식방법조작보취복잡.광보측시표명,이용취초리자속방법재유원재료상각식적광자정체불발광,이전자속제판결합간법각식방법제비적소정격상수광자정체즉사유사무서,기출광효솔야제고도몰유광자정체시적량배.대량충방법소가공적광자정체불발광화제고출광효솔적궤리진행료분석.
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