功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2006年
2期
219-221
,共3页
黄树来%姜永超%盖凌云%徐进栋%王雨生%马瑾
黃樹來%薑永超%蓋凌雲%徐進棟%王雨生%馬瑾
황수래%강영초%개릉운%서진동%왕우생%마근
磁控射频溅射%透明导电膜%Zn-Sn-O:Sb
磁控射頻濺射%透明導電膜%Zn-Sn-O:Sb
자공사빈천사%투명도전막%Zn-Sn-O:Sb
首次在低温下采用磁控射频溅射技术在玻璃衬底上制备出具有多晶结构的掺锑锌-锡-氧(Zn-Sn-O:Sb)透明导电膜.研究了在通氧气氛制备薄膜的特性以及退火处理对制备薄膜结构和光电性能的影响.经真空退火后,氩氧混合气体溅射制备的Zn-Sn-O:Sb透明导电膜的最小电阻率为4×10-2Ω·cm,相应载流子浓度和霍尔迁移率分别为2.1×1019cm-3,8cm2·V-1·s-1.薄膜的可见光平均透过率达到了92.4%.薄膜具有较高的热稳定性和化学稳定性,对玻璃衬底有良好的附着性.
首次在低溫下採用磁控射頻濺射技術在玻璃襯底上製備齣具有多晶結構的摻銻鋅-錫-氧(Zn-Sn-O:Sb)透明導電膜.研究瞭在通氧氣氛製備薄膜的特性以及退火處理對製備薄膜結構和光電性能的影響.經真空退火後,氬氧混閤氣體濺射製備的Zn-Sn-O:Sb透明導電膜的最小電阻率為4×10-2Ω·cm,相應載流子濃度和霍爾遷移率分彆為2.1×1019cm-3,8cm2·V-1·s-1.薄膜的可見光平均透過率達到瞭92.4%.薄膜具有較高的熱穩定性和化學穩定性,對玻璃襯底有良好的附著性.
수차재저온하채용자공사빈천사기술재파리츤저상제비출구유다정결구적참제자-석-양(Zn-Sn-O:Sb)투명도전막.연구료재통양기분제비박막적특성이급퇴화처리대제비박막결구화광전성능적영향.경진공퇴화후,아양혼합기체천사제비적Zn-Sn-O:Sb투명도전막적최소전조솔위4×10-2Ω·cm,상응재류자농도화곽이천이솔분별위2.1×1019cm-3,8cm2·V-1·s-1.박막적가견광평균투과솔체도료92.4%.박막구유교고적열은정성화화학은정성,대파리츤저유량호적부착성.
