安徽大学学报（自然科学版）
安徽大學學報（自然科學版）
안휘대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF ANHUI UNIVERSITY(NATURAL SCIENCES EDITION)
2006年
2期
67-70
,共4页
苏凤莲%汪洪%李爱侠%刘艳美%周圣明
囌鳳蓮%汪洪%李愛俠%劉豔美%週聖明
소봉련%왕홍%리애협%류염미%주골명
ZnO薄膜%脉冲激光沉积%X射线衍射%光致发光谱
ZnO薄膜%脈遲激光沉積%X射線衍射%光緻髮光譜
ZnO박막%맥충격광침적%X사선연사%광치발광보
用脉冲激光沉积法在MgO(100)衬底上沉积了ZnO薄膜.衬底温度分别为400℃、550℃和700℃.利用X射线衍射(XRD)和光致发光谱(PL)对薄膜的结构和光学性能进行研究.X射线衍射的结果表明,在400℃和550℃下生长的ZnO薄膜具有高度c-轴择优取向,但是当衬底温度升高到700℃时,薄膜由单一的择优取向变为有两个较强的择优取向.通过光致发光谱可以发现,在550℃下生长的ZnO薄膜具有强的紫外发射和窄的FWHM,并且紫外发光峰的强度与ZnO薄膜的结晶质量密切相关.
用脈遲激光沉積法在MgO(100)襯底上沉積瞭ZnO薄膜.襯底溫度分彆為400℃、550℃和700℃.利用X射線衍射(XRD)和光緻髮光譜(PL)對薄膜的結構和光學性能進行研究.X射線衍射的結果錶明,在400℃和550℃下生長的ZnO薄膜具有高度c-軸擇優取嚮,但是噹襯底溫度升高到700℃時,薄膜由單一的擇優取嚮變為有兩箇較彊的擇優取嚮.通過光緻髮光譜可以髮現,在550℃下生長的ZnO薄膜具有彊的紫外髮射和窄的FWHM,併且紫外髮光峰的彊度與ZnO薄膜的結晶質量密切相關.
용맥충격광침적법재MgO(100)츤저상침적료ZnO박막.츤저온도분별위400℃、550℃화700℃.이용X사선연사(XRD)화광치발광보(PL)대박막적결구화광학성능진행연구.X사선연사적결과표명,재400℃화550℃하생장적ZnO박막구유고도c-축택우취향,단시당츤저온도승고도700℃시,박막유단일적택우취향변위유량개교강적택우취향.통과광치발광보가이발현,재550℃하생장적ZnO박막구유강적자외발사화착적FWHM,병차자외발광봉적강도여ZnO박막적결정질량밀절상관.
