真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
1期
54-56
,共3页
肖立波%陈旭%黄天斌%查良镇
肖立波%陳旭%黃天斌%查良鎮
초립파%진욱%황천빈%사량진
实时校准%超灵敏检漏%可变参考漏孔%静态累积模式
實時校準%超靈敏檢漏%可變參攷漏孔%靜態纍積模式
실시교준%초령민검루%가변삼고루공%정태루적모식
超灵敏检漏的实时校准是国际上尚未解决且未标准化的一个难题,本文利用自建的微流量参考漏率系统对商用检漏仪和超灵敏检漏系统进行了实时校准的实验研究,在10-14Pa·m3/s～10-10Pa·m3/s宽范围漏率内实现了对检漏仪器的实时校准.
超靈敏檢漏的實時校準是國際上尚未解決且未標準化的一箇難題,本文利用自建的微流量參攷漏率繫統對商用檢漏儀和超靈敏檢漏繫統進行瞭實時校準的實驗研究,在10-14Pa·m3/s～10-10Pa·m3/s寬範圍漏率內實現瞭對檢漏儀器的實時校準.
초령민검루적실시교준시국제상상미해결차미표준화적일개난제,본문이용자건적미류량삼고루솔계통대상용검루의화초령민검루계통진행료실시교준적실험연구,재10-14Pa·m3/s～10-10Pa·m3/s관범위루솔내실현료대검루의기적실시교준.
