材料工程
材料工程
재료공정
JOURNAL OF MATERIALS ENGINEERING
2005年
9期
48-52
,共5页
赵文济%梅芳华%董云杉%李戈扬
趙文濟%梅芳華%董雲杉%李戈颺
조문제%매방화%동운삼%리과양
(Al,Ti)N涂层%反应溅射%微结构%力学性能
(Al,Ti)N塗層%反應濺射%微結構%力學性能
(Al,Ti)N도층%반응천사%미결구%역학성능
采用Al-Ti镶嵌复合靶在不同氮分压下制备了一系列(Al,Ti)N涂层,并采用EDS,AFM,XRD,TEM和微力学探针表征了涂层的沉积速率、化学成分、微结构和力学性能,研究了氮分压对涂层的影响.结果表明,氮分压对(Al,Ti)N涂层影响显著:合适的氮分压可以得到化学计量比的(Al,Ti)N涂层,涂层为单相组织,并呈现(111)择优取向,最高硬度和弹性模量分别达到36.9GPa和476GPa.过低的氮分压不但会造成涂层贫氮,而且涂层中的Al含量偏低,硬度不高.氮分压过高,由于存在"靶中毒"现象,尽管涂层的成分无明显变化,但会大大降低其沉积速率,并使涂层形成纳米晶或非晶态结构,涂层的硬度也较低.
採用Al-Ti鑲嵌複閤靶在不同氮分壓下製備瞭一繫列(Al,Ti)N塗層,併採用EDS,AFM,XRD,TEM和微力學探針錶徵瞭塗層的沉積速率、化學成分、微結構和力學性能,研究瞭氮分壓對塗層的影響.結果錶明,氮分壓對(Al,Ti)N塗層影響顯著:閤適的氮分壓可以得到化學計量比的(Al,Ti)N塗層,塗層為單相組織,併呈現(111)擇優取嚮,最高硬度和彈性模量分彆達到36.9GPa和476GPa.過低的氮分壓不但會造成塗層貧氮,而且塗層中的Al含量偏低,硬度不高.氮分壓過高,由于存在"靶中毒"現象,儘管塗層的成分無明顯變化,但會大大降低其沉積速率,併使塗層形成納米晶或非晶態結構,塗層的硬度也較低.
채용Al-Ti양감복합파재불동담분압하제비료일계렬(Al,Ti)N도층,병채용EDS,AFM,XRD,TEM화미역학탐침표정료도층적침적속솔、화학성분、미결구화역학성능,연구료담분압대도층적영향.결과표명,담분압대(Al,Ti)N도층영향현저:합괄적담분압가이득도화학계량비적(Al,Ti)N도층,도층위단상조직,병정현(111)택우취향,최고경도화탄성모량분별체도36.9GPa화476GPa.과저적담분압불단회조성도층빈담,이차도층중적Al함량편저,경도불고.담분압과고,유우존재"파중독"현상,진관도층적성분무명현변화,단회대대강저기침적속솔,병사도층형성납미정혹비정태결구,도층적경도야교저.
