PZT厚膜拾振器微图形化工艺研究
PZT후막습진기미도형화공예연구
Study on Micro-patterning of Vibration Pickup Device Based on PZT Thick Films
  • 万方数据
    微细加工技术 미세가공기술
    MICROFABRICATION TECHNOLOGY
    2005年 4期 48-51 ,共4页

    方华斌%刘景全%徐峥谊%王莉%陈迪%蔡炳初%刘悦

    방화빈%류경전%서쟁의%왕리%진적%채병초%류열

    拾振器%PZT厚膜%Pt/Ti电极%湿法化学刻蚀%干法刻蚀 拾振器%PZT厚膜%Pt/Ti電極%濕法化學刻蝕%榦法刻蝕
    습진기%PZT후막%Pt/Ti전겁%습법화학각식%간법각식
    采用sol-gel方法制备了PZT铁电厚膜,构成了SiO2/Si/SiO2/Ti/Pt/PZT/Ti/Pt形式的拾振器敏感元结构.基于半导体光刻技术,通过干法刻蚀电极和化学湿法刻蚀PZT厚膜等技术,成功地实现了敏感元的微图形化,解决了Pt/Ti下电极刻蚀难、制作的PZT膜形貌不好和上电极容易起壳等问题,为基于PZT厚膜的高性能拾振器的研制打下了良好的基础.
    채용sol-gel방법제비료PZT철전후막,구성료SiO2/Si/SiO2/Ti/Pt/PZT/Ti/Pt형식적습진기민감원결구.기우반도체광각기술,통과간법각식전겁화화학습법각식PZT후막등기술,성공지실현료민감원적미도형화,해결료Pt/Ti하전겁각식난、제작적PZT막형모불호화상전겁용역기각등문제,위기우PZT후막적고성능습진기적연제타하료량호적기출.
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