压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2005年
2期
139-141
,共3页
孙宝玉%林洁琼%梁淑卿%王登月
孫寶玉%林潔瓊%樑淑卿%王登月
손보옥%림길경%량숙경%왕등월
微定位机构%压电陶瓷%柔性铰链%数字PID控制
微定位機構%壓電陶瓷%柔性鉸鏈%數字PID控製
미정위궤구%압전도자%유성교련%수자PID공제
研究、设计了一种以柔性铰链为导向元件、压电陶瓷为驱动器的微定位机构,给出了机构的动力学模型.结合检测装置和微机控制系统,设计并研制了基于前馈控制同数字PID反馈控制相结合的复合控制的微定位系统.实验表明,微定位系统定位行程可达100μm,定位分辨力0.01μm.
研究、設計瞭一種以柔性鉸鏈為導嚮元件、壓電陶瓷為驅動器的微定位機構,給齣瞭機構的動力學模型.結閤檢測裝置和微機控製繫統,設計併研製瞭基于前饋控製同數字PID反饋控製相結閤的複閤控製的微定位繫統.實驗錶明,微定位繫統定位行程可達100μm,定位分辨力0.01μm.
연구、설계료일충이유성교련위도향원건、압전도자위구동기적미정위궤구,급출료궤구적동역학모형.결합검측장치화미궤공제계통,설계병연제료기우전궤공제동수자PID반궤공제상결합적복합공제적미정위계통.실험표명,미정위계통정위행정가체100μm,정위분변력0.01μm.
