炭素
炭素
탄소
CARBON
2003年
1期
11-16
,共6页
感应加热%CVD%多孔坯体%增密
感應加熱%CVD%多孔坯體%增密
감응가열%CVD%다공배체%증밀
用化学气相沉积法增密多孔坯体,尤其是炭纤维增强坯体,使坯体沿横截面建立起一定的温度梯度,控制碳源气体仅在坯体高温带上裂解、沉积.沉积增密的坯体的电导性和热导性提高,区域温度升高,使高温区向低温区扩展,沉积区逐步扩大.该工艺较能保证获得所需要的材料的显微组织结构,并能大大提高沉积效率.为克服当前广泛使用的等温等压法CVD及压差法CVD的工艺设备生产周期长和生产成本高的不足,本文介绍了几种热梯度化学气相沉积的工艺与设备,同时也比较了其可行性与优缺点.
用化學氣相沉積法增密多孔坯體,尤其是炭纖維增彊坯體,使坯體沿橫截麵建立起一定的溫度梯度,控製碳源氣體僅在坯體高溫帶上裂解、沉積.沉積增密的坯體的電導性和熱導性提高,區域溫度升高,使高溫區嚮低溫區擴展,沉積區逐步擴大.該工藝較能保證穫得所需要的材料的顯微組織結構,併能大大提高沉積效率.為剋服噹前廣汎使用的等溫等壓法CVD及壓差法CVD的工藝設備生產週期長和生產成本高的不足,本文介紹瞭幾種熱梯度化學氣相沉積的工藝與設備,同時也比較瞭其可行性與優缺點.
용화학기상침적법증밀다공배체,우기시탄섬유증강배체,사배체연횡절면건립기일정적온도제도,공제탄원기체부재배체고온대상렬해、침적.침적증밀적배체적전도성화열도성제고,구역온도승고,사고온구향저온구확전,침적구축보확대.해공예교능보증획득소수요적재료적현미조직결구,병능대대제고침적효솔.위극복당전엄범사용적등온등압법CVD급압차법CVD적공예설비생산주기장화생산성본고적불족,본문개소료궤충열제도화학기상침적적공예여설비,동시야비교료기가행성여우결점.
