全方位离子注入及增强沉积工业机和应用
전방위리자주입급증강침적공업궤화응용
Industrial plasma immersion ion implanter and its applications
  • 万方数据
    核技术 핵기술
    NUCLEAR TECHNIQUES
    2002年 9期 684-689 ,共6页

    童洪辉%陈庆川%霍岩峰%王珂%穆莉兰%冯铁民%赵军%严兵%耿漫

    동홍휘%진경천%곽암봉%왕가%목리란%풍철민%조군%엄병%경만

    全方位离子注入%增强沉积%金属等离子体源%材料表面改性 全方位離子註入%增彊沉積%金屬等離子體源%材料錶麵改性
    전방위리자주입%증강침적%금속등리자체원%재료표면개성
    报道了等离子体源离子注入(PSII)或等离子体浸没离子注入(PIII)及增强沉积工业机的实验结果及应用.该机真空室直径900mm, 高1050mm, 立式放置, 抽气系统由分子泵及机械泵构成并且实现了PLC控制, 本底真空小于4×10-4Pa.等离子体由热阴极放电或三个高效磁过滤式金属等离子体源产生, 因此可实现全方位离子注入或增强沉积成膜.该机的负高压脉冲最高幅值为80kV, 最大脉冲电流为60A, 重复频率为50-500Hz, 脉冲上升沿小于2μs, 并且可根据需要产生脉冲串.其等离子体密度约为108-1010*cm-3, 膜沉积速率为0.1-0.5nm/s.
    보도료등리자체원리자주입(PSII)혹등리자체침몰리자주입(PIII)급증강침적공업궤적실험결과급응용.해궤진공실직경900mm, 고1050mm, 입식방치, 추기계통유분자빙급궤계빙구성병차실현료PLC공제, 본저진공소우4×10-4Pa.등리자체유열음겁방전혹삼개고효자과려식금속등리자체원산생, 인차가실현전방위리자주입혹증강침적성막.해궤적부고압맥충최고폭치위80kV, 최대맥충전류위60A, 중복빈솔위50-500Hz, 맥충상승연소우2μs, 병차가근거수요산생맥충천.기등리자체밀도약위108-1010*cm-3, 막침적속솔위0.1-0.5nm/s.
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