稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
2002年
4期
266-270
,共5页
刘豫东%张钢%朱继满%马莒生
劉豫東%張鋼%硃繼滿%馬莒生
류예동%장강%주계만%마거생
铟%磁控溅射%EBSP
銦%磁控濺射%EBSP
인%자공천사%EBSP
铟广泛应用于光电器件的封装互连中.这是因为铟独特的性质能够满足光电器件,尤其是能满足红外器件封装时对互连材料的要求:低互连温度,低温工作条件下良好的机械性能.研究铟的组织和性能间的关系十分重要,但是在室温时用常规的金相方法获得铟真实的原始组织却很困难,常规的金相方法通常会获得假相.因为室温下的铟处于它的热加工区域,常规的金相制样过程会导致铟的动态回复和再结晶.用扫描电镜的 EBSP 技术直接观察按真实工艺步骤沉积的铟的原始组织,发现铟以多晶态存在,平均晶粒尺寸为 1.26 μm,并且在 9 μm×9 μm 局部范围内没有织构存在;铟的纳米硬度是 19.73 MPa.
銦廣汎應用于光電器件的封裝互連中.這是因為銦獨特的性質能夠滿足光電器件,尤其是能滿足紅外器件封裝時對互連材料的要求:低互連溫度,低溫工作條件下良好的機械性能.研究銦的組織和性能間的關繫十分重要,但是在室溫時用常規的金相方法穫得銦真實的原始組織卻很睏難,常規的金相方法通常會穫得假相.因為室溫下的銦處于它的熱加工區域,常規的金相製樣過程會導緻銦的動態迴複和再結晶.用掃描電鏡的 EBSP 技術直接觀察按真實工藝步驟沉積的銦的原始組織,髮現銦以多晶態存在,平均晶粒呎吋為 1.26 μm,併且在 9 μm×9 μm 跼部範圍內沒有織構存在;銦的納米硬度是 19.73 MPa.
인엄범응용우광전기건적봉장호련중.저시인위인독특적성질능구만족광전기건,우기시능만족홍외기건봉장시대호련재료적요구:저호련온도,저온공작조건하량호적궤계성능.연구인적조직화성능간적관계십분중요,단시재실온시용상규적금상방법획득인진실적원시조직각흔곤난,상규적금상방법통상회획득가상.인위실온하적인처우타적열가공구역,상규적금상제양과정회도치인적동태회복화재결정.용소묘전경적 EBSP 기술직접관찰안진실공예보취침적적인적원시조직,발현인이다정태존재,평균정립척촌위 1.26 μm,병차재 9 μm×9 μm 국부범위내몰유직구존재;인적납미경도시 19.73 MPa.
