真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2002年
2期
153-156
,共4页
等离子体发射光谱%射频%分子束外延生长
等離子體髮射光譜%射頻%分子束外延生長
등리자체발사광보%사빈%분자속외연생장
研究了射频等离子体辅助分子束外延生长GaN晶膜中氮等离子体的发射光谱.用非接触式测量方法--光谱法测定了等离子体特性.讨论了分子束外延生长系统参数的变化与等离子体发光光谱变化之间的联系,薄膜生长与等离子体内活性粒子之间的关系.
研究瞭射頻等離子體輔助分子束外延生長GaN晶膜中氮等離子體的髮射光譜.用非接觸式測量方法--光譜法測定瞭等離子體特性.討論瞭分子束外延生長繫統參數的變化與等離子體髮光光譜變化之間的聯繫,薄膜生長與等離子體內活性粒子之間的關繫.
연구료사빈등리자체보조분자속외연생장GaN정막중담등리자체적발사광보.용비접촉식측량방법--광보법측정료등리자체특성.토론료분자속외연생장계통삼수적변화여등리자체발광광보변화지간적련계,박막생장여등리자체내활성입자지간적관계.
