直流磁控溅射一步法原位制备MgB2超导薄膜
직류자공천사일보법원위제비MgB2초도박막
Single-step in-situ preparation of magnesium diboride superconducting thin films by dc magnetron sputtering
  • 万方数据
    物理学报 물이학보

    2002年 2期 406-409 ,共4页

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    高温超导体%超导薄膜%磁控溅射%二硼化镁 高溫超導體%超導薄膜%磁控濺射%二硼化鎂
    고온초도체%초도박막%자공천사%이붕화미
    用MgB2靶,控制直流磁控溅射工作在异常辉光放电或弧光放电状态,在SrTiO3衬底上原位一次性得到了MgB2超导薄膜,其起始转变温度为32K,零电阻温度为15K.
    용MgB2파,공제직류자공천사공작재이상휘광방전혹호광방전상태,재SrTiO3츤저상원위일차성득도료MgB2초도박막,기기시전변온도위32K,령전조온도위15K.
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