非平衡磁控系统的“遮以阴影”问题的研究
비평형자공계통적“차이음영”문제적연구
Research on the shadow problem in unbalanced magnetic field control sputtering system
  • 万方数据
    纺织高校基础科学学报 방직고교기출과학학보
    BASIC SCIENCES JOURNAL OF TEXTILE UNIVERSITIES
    2002年 1期 27-30 ,共4页

    何万强%雷旭

    하만강%뢰욱

    等离子体%非平衡%磁控溅射%遮以阴影 等離子體%非平衡%磁控濺射%遮以陰影
    등리자체%비평형%자공천사%차이음영
    鉴于真空镀膜机中,非平衡磁场控制溅射系统的"遮以阴影"弊端,提出一种对该系统加以完善的原理和设计方案,为增加等离子体的范围和密度,改善镀制膜的结构和性质作了新的尝试.
    감우진공도막궤중,비평형자장공제천사계통적"차이음영"폐단,제출일충대해계통가이완선적원리화설계방안,위증가등리자체적범위화밀도,개선도제막적결구화성질작료신적상시.
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