清华大学学报(自然科学版)
清華大學學報(自然科學版)
청화대학학보(자연과학판)
Journal of Tsinghua University
2001年
11期
87-90
,共4页
尤政%李颖鹏%杨建中%陈非凡%于世洁
尤政%李穎鵬%楊建中%陳非凡%于世潔
우정%리영붕%양건중%진비범%우세길
半导体材料%微体缺陷%广义Lorenz-Mie理论%散射%光强分布分析%自动检测
半導體材料%微體缺陷%廣義Lorenz-Mie理論%散射%光彊分佈分析%自動檢測
반도체재료%미체결함%엄의Lorenz-Mie이론%산사%광강분포분석%자동검측
半导体材料内部的一致性是实现微器件功能的重要保证.为实现半导体材料微体缺陷的无损、高效、和准确检测,在研究广义Lorenz-Mie理论的基础上,通过将散射光分布分析引入到检测当中,提出了对近红外激光散射信号探测和缺陷大小特征的判据,来检测半导体材料缺陷的方法.介绍了检测的基本原理和理论模型,以及基于这一构想的全自动检测系统的实现方法,并提出了微缺陷检测的判据.对一组GaAs样品进行了实验研究,证明了该方法的可行性.
半導體材料內部的一緻性是實現微器件功能的重要保證.為實現半導體材料微體缺陷的無損、高效、和準確檢測,在研究廣義Lorenz-Mie理論的基礎上,通過將散射光分佈分析引入到檢測噹中,提齣瞭對近紅外激光散射信號探測和缺陷大小特徵的判據,來檢測半導體材料缺陷的方法.介紹瞭檢測的基本原理和理論模型,以及基于這一構想的全自動檢測繫統的實現方法,併提齣瞭微缺陷檢測的判據.對一組GaAs樣品進行瞭實驗研究,證明瞭該方法的可行性.
반도체재료내부적일치성시실현미기건공능적중요보증.위실현반도체재료미체결함적무손、고효、화준학검측,재연구엄의Lorenz-Mie이론적기출상,통과장산사광분포분석인입도검측당중,제출료대근홍외격광산사신호탐측화결함대소특정적판거,래검측반도체재료결함적방법.개소료검측적기본원리화이론모형,이급기우저일구상적전자동검측계통적실현방법,병제출료미결함검측적판거.대일조GaAs양품진행료실험연구,증명료해방법적가행성.
