材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2012年
2期
98-100,111
,共4页
代晶晶%王学生%疏敏%戚学贵
代晶晶%王學生%疏敏%慼學貴
대정정%왕학생%소민%척학귀
磁控溅射%纳米薄膜%Bi/Sb%Seebeck系数%电导率%功率因子
磁控濺射%納米薄膜%Bi/Sb%Seebeck繫數%電導率%功率因子
자공천사%납미박막%Bi/Sb%Seebeck계수%전도솔%공솔인자
选取单晶硅作为隔热衬底,Bi和Sb材料作为靶材,采用磁控溅射技术溅射制备多层复合纳米薄膜.研究了当固定调制周期为40nm,Bi和Sb的调制比分别为1∶1、3∶2、4:1和1∶4时,Bi/Sb超晶格复合薄膜的Seebeck系数、电导率和功率因子在160～250K温度范围内随温度的变化.发现当调制比为1∶4时,Bi/Sb薄膜的功率因子明显高于其它3种情况.
選取單晶硅作為隔熱襯底,Bi和Sb材料作為靶材,採用磁控濺射技術濺射製備多層複閤納米薄膜.研究瞭噹固定調製週期為40nm,Bi和Sb的調製比分彆為1∶1、3∶2、4:1和1∶4時,Bi/Sb超晶格複閤薄膜的Seebeck繫數、電導率和功率因子在160～250K溫度範圍內隨溫度的變化.髮現噹調製比為1∶4時,Bi/Sb薄膜的功率因子明顯高于其它3種情況.
선취단정규작위격열츤저,Bi화Sb재료작위파재,채용자공천사기술천사제비다층복합납미박막.연구료당고정조제주기위40nm,Bi화Sb적조제비분별위1∶1、3∶2、4:1화1∶4시,Bi/Sb초정격복합박막적Seebeck계수、전도솔화공솔인자재160～250K온도범위내수온도적변화.발현당조제비위1∶4시,Bi/Sb박막적공솔인자명현고우기타3충정황.
