真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2004年
5期
334-338,342
,共6页
刘天伟%邓新禄%王小英%王英敏%董闯
劉天偉%鄧新祿%王小英%王英敏%董闖
류천위%산신록%왕소영%왕영민%동틈
等离子体增强沉积%非平衡磁控溅射%Zr-N薄膜%N2流量
等離子體增彊沉積%非平衡磁控濺射%Zr-N薄膜%N2流量
등리자체증강침적%비평형자공천사%Zr-N박막%N2류량
在不同氮流量下,利用微波-ECR等离子体溅射沉积技术在45#钢基体上制备了ZrN薄膜.XRD、TEM分析结果表明:随着充入N2流量的改变,薄膜结构由单一的ZrN结构向ZrN和ZrNx复合结构转变,然后出现非晶态结构.当N2流量在(2～8) sccm之间,薄膜为ZrN结构;在(10～12) sccm时,为ZrN和正交的ZrNx(a=0.3585 nm,b=0.4443 nm,c=0.5798 nm)混合型结构;14 sccm时出现非晶化趋势.俄歇电子谱仪(AES)和探针分析表明:薄膜中氮含量为7.73%～66.96%.同时对薄膜的硬度进行了测试,薄膜硬度在19.82 GPa～26.32 GPa之间,随氮值的变化,先增加后降低.对硬度最高的4#样品进行了摩擦性能测试,磨损率约4.5×10-8 mg/min.薄膜这些性能的变化是由于不同氮流量下薄膜结构发生变化造成的.
在不同氮流量下,利用微波-ECR等離子體濺射沉積技術在45#鋼基體上製備瞭ZrN薄膜.XRD、TEM分析結果錶明:隨著充入N2流量的改變,薄膜結構由單一的ZrN結構嚮ZrN和ZrNx複閤結構轉變,然後齣現非晶態結構.噹N2流量在(2～8) sccm之間,薄膜為ZrN結構;在(10～12) sccm時,為ZrN和正交的ZrNx(a=0.3585 nm,b=0.4443 nm,c=0.5798 nm)混閤型結構;14 sccm時齣現非晶化趨勢.俄歇電子譜儀(AES)和探針分析錶明:薄膜中氮含量為7.73%～66.96%.同時對薄膜的硬度進行瞭測試,薄膜硬度在19.82 GPa～26.32 GPa之間,隨氮值的變化,先增加後降低.對硬度最高的4#樣品進行瞭摩抆性能測試,磨損率約4.5×10-8 mg/min.薄膜這些性能的變化是由于不同氮流量下薄膜結構髮生變化造成的.
재불동담류량하,이용미파-ECR등리자체천사침적기술재45#강기체상제비료ZrN박막.XRD、TEM분석결과표명:수착충입N2류량적개변,박막결구유단일적ZrN결구향ZrN화ZrNx복합결구전변,연후출현비정태결구.당N2류량재(2～8) sccm지간,박막위ZrN결구;재(10～12) sccm시,위ZrN화정교적ZrNx(a=0.3585 nm,b=0.4443 nm,c=0.5798 nm)혼합형결구;14 sccm시출현비정화추세.아헐전자보의(AES)화탐침분석표명:박막중담함량위7.73%～66.96%.동시대박막적경도진행료측시,박막경도재19.82 GPa～26.32 GPa지간,수담치적변화,선증가후강저.대경도최고적4#양품진행료마찰성능측시,마손솔약4.5×10-8 mg/min.박막저사성능적변화시유우불동담류량하박막결구발생변화조성적.
