中国表面工程
中國錶麵工程
중국표면공정
CHINA SURFACE ENGINEERING
2010年
1期
9-14
,共6页
等离子体浸没离子注入与沉积%表面改性%发展
等離子體浸沒離子註入與沉積%錶麵改性%髮展
등리자체침몰리자주입여침적%표면개성%발전
plasma immersion ion implantation and deposition%surface modification%development
等离子体浸没离子注入与沉积技术可实现复杂形状零件表面垂直、均匀地离子注入与沉积处理,在材料表面改性领域具有广泛的应用前景.在技术发明后的20年间,该技术得到了快速的发展,但是也遇到了如何提高离子注入效率和注入均匀性、内表面注入、大面积注入等一系列问题.若上述问题得到解决,将极大的推进等离子体浸没离子注入与沉积技术的工业应用进程.
等離子體浸沒離子註入與沉積技術可實現複雜形狀零件錶麵垂直、均勻地離子註入與沉積處理,在材料錶麵改性領域具有廣汎的應用前景.在技術髮明後的20年間,該技術得到瞭快速的髮展,但是也遇到瞭如何提高離子註入效率和註入均勻性、內錶麵註入、大麵積註入等一繫列問題.若上述問題得到解決,將極大的推進等離子體浸沒離子註入與沉積技術的工業應用進程.
등리자체침몰리자주입여침적기술가실현복잡형상령건표면수직、균균지리자주입여침적처리,재재료표면개성영역구유엄범적응용전경.재기술발명후적20년간,해기술득도료쾌속적발전,단시야우도료여하제고리자주입효솔화주입균균성、내표면주입、대면적주입등일계렬문제.약상술문제득도해결,장겁대적추진등리자체침몰리자주입여침적기술적공업응용진정.
Plasma Immersion Ion Implantation and Deposition technology (PIIID) can obtain a uniform and perpendicular ion implantation on the components with sophisticated shape. It has shown great potential in surface modification for industrial components. After its invention, PIIID has developed rapidly in recent years. However, in order to get wide commercial applications, the methods for high efficiency ion implantation, inner surface ion implantation and large area ion implantation should be proposed.
