物理实验
物理實驗
물리실험
PHYSICS EXPERIMENTATION
2011年
1期
28-30,33
,共4页
朱亚彬%魏敏建%何帆%刘依真%王保军%陈志杰
硃亞彬%魏敏建%何帆%劉依真%王保軍%陳誌傑
주아빈%위민건%하범%류의진%왕보군%진지걸
真空%变温%薄膜电阻
真空%變溫%薄膜電阻
진공%변온%박막전조
设计了自制真空变温薄膜电阻测试仪器,可以实现粗真空条件下,从室温到300℃的四探针法薄膜电阻测试.该仪器适用于开展薄膜物性与电阻和温度相关的实验,例如,金属与半导体薄膜的温度-电阻特性实验,二氧化钒薄膜热滞效应实验等.
設計瞭自製真空變溫薄膜電阻測試儀器,可以實現粗真空條件下,從室溫到300℃的四探針法薄膜電阻測試.該儀器適用于開展薄膜物性與電阻和溫度相關的實驗,例如,金屬與半導體薄膜的溫度-電阻特性實驗,二氧化釩薄膜熱滯效應實驗等.
설계료자제진공변온박막전조측시의기,가이실현조진공조건하,종실온도300℃적사탐침법박막전조측시.해의기괄용우개전박막물성여전조화온도상관적실험,례여,금속여반도체박막적온도-전조특성실험,이양화범박막열체효응실험등.
