材料科学与工程
材料科學與工程
재료과학여공정
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2000年
z2期
650-652
,共3页
岳金顺%程文娟%蒋钢娟%贺德衍%陈光华
嶽金順%程文娟%蔣鋼娟%賀德衍%陳光華
악금순%정문연%장강연%하덕연%진광화
BCN薄膜%射频反应溅射%结构和电学特性
BCN薄膜%射頻反應濺射%結構和電學特性
BCN박막%사빈반응천사%결구화전학특성
本文研究以六方BN为靶材,CH4为反应气体,利用射频溅射技术制备BCN三元化合物薄膜.样品的结构由X射线衍射谱、傅立叶变换红外吸收谱和X射线光电子能谱等方法进行表征.实验结果表明样品是具有类石墨涡旋蜂窝状结构的BCN三元化合物.通过改变CH4分压,能够控制薄膜中的C含量:随CH4分压的增高,薄膜中C含量增大,电导率也显著增大.当CH4分压比在10%附近时,样品呈现半导体特性,由电导率-温度关系曲线求得电导激活能约为0.8eV.
本文研究以六方BN為靶材,CH4為反應氣體,利用射頻濺射技術製備BCN三元化閤物薄膜.樣品的結構由X射線衍射譜、傅立葉變換紅外吸收譜和X射線光電子能譜等方法進行錶徵.實驗結果錶明樣品是具有類石墨渦鏇蜂窩狀結構的BCN三元化閤物.通過改變CH4分壓,能夠控製薄膜中的C含量:隨CH4分壓的增高,薄膜中C含量增大,電導率也顯著增大.噹CH4分壓比在10%附近時,樣品呈現半導體特性,由電導率-溫度關繫麯線求得電導激活能約為0.8eV.
본문연구이륙방BN위파재,CH4위반응기체,이용사빈천사기술제비BCN삼원화합물박막.양품적결구유X사선연사보、부립협변환홍외흡수보화X사선광전자능보등방법진행표정.실험결과표명양품시구유류석묵와선봉와상결구적BCN삼원화합물.통과개변CH4분압,능구공제박막중적C함량:수CH4분압적증고,박막중C함량증대,전도솔야현저증대.당CH4분압비재10%부근시,양품정현반도체특성,유전도솔-온도관계곡선구득전도격활능약위0.8eV.
