无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2006年
1期
235-238
,共4页
张锡健%马洪磊%王卿璞%马瑾
張錫健%馬洪磊%王卿璞%馬瑾
장석건%마홍뢰%왕경박%마근
MgxZn1-xO%射频磁控溅射%结构特性
MgxZn1-xO%射頻磁控濺射%結構特性
MgxZn1-xO%사빈자공천사%결구특성
采用射频磁控溅射法在80℃衬底温度下制备了MgxZn1-xO(x=0.23)薄膜,用X射线衍射(XRD)、高分辨透射电镜(HRTEM)、喇曼(Raman)光谱和原子力显微镜(AFM)研究了薄膜的结构特性.XRD和HRTEM分析结果表明MgxZn1-xO薄膜为单相六角纤锌矿结构,且具有沿c轴的择优取向,晶格常数与ZnO晶体的近似相等.Raman光谱不仅揭示MgxZn1-xO薄膜具有六角纤锌矿结构,而且也表明MgxZn1-xO薄膜的结晶质量比在相同条件下制备的ZnO薄膜好.AFM图像则显示出MgxZn1-xO薄膜为多晶结构.
採用射頻磁控濺射法在80℃襯底溫度下製備瞭MgxZn1-xO(x=0.23)薄膜,用X射線衍射(XRD)、高分辨透射電鏡(HRTEM)、喇曼(Raman)光譜和原子力顯微鏡(AFM)研究瞭薄膜的結構特性.XRD和HRTEM分析結果錶明MgxZn1-xO薄膜為單相六角纖鋅礦結構,且具有沿c軸的擇優取嚮,晶格常數與ZnO晶體的近似相等.Raman光譜不僅揭示MgxZn1-xO薄膜具有六角纖鋅礦結構,而且也錶明MgxZn1-xO薄膜的結晶質量比在相同條件下製備的ZnO薄膜好.AFM圖像則顯示齣MgxZn1-xO薄膜為多晶結構.
채용사빈자공천사법재80℃츤저온도하제비료MgxZn1-xO(x=0.23)박막,용X사선연사(XRD)、고분변투사전경(HRTEM)、나만(Raman)광보화원자력현미경(AFM)연구료박막적결구특성.XRD화HRTEM분석결과표명MgxZn1-xO박막위단상륙각섬자광결구,차구유연c축적택우취향,정격상수여ZnO정체적근사상등.Raman광보불부게시MgxZn1-xO박막구유륙각섬자광결구,이차야표명MgxZn1-xO박막적결정질량비재상동조건하제비적ZnO박막호.AFM도상칙현시출MgxZn1-xO박막위다정결구.
